나노측정 기술은 나노 크기 소재의 기계적, 전자기적, 광학 물성 등을 측정하고 평가하는 기술로 나노공정 기술을 실제 제품 생산에 적용할 때 필수적이다.

이 박사팀이 개발한 나노측정 기술인 '띠굽힘 시험법'은 세계 3대 국제표준기구 중 하나인 국제전기기술위원회(IEC)의 미세전자기계시스템(MEMS) 분야 국제표준 기술로 채택돼 세계 나노기술을 선도하고 있다.

띠굽힘 시험법은 길이가 길고 두께가 얇은 마이크로·나노 구조물을 변형시키며 하중 등을 간편하고 정확하게 측정하는 방법으로, 측정의 자동화는 물론 관련 제품들의 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있다.

이 박사팀은 이 시험법을 이용한 박막의 인장물성 측정법 등 국제표준 2건을 만족하는 시험장치를 국내 시험기 제조업체에 기술이전해 국산화 개발을 추진하고 있다.

이 박사는 "첨단기술 분야인 나노측정은 지금까지 상용화나 신뢰성 확보 등에 어려움이 있었다"며 "이번 연구개발을 통해 국제표준이 확립되고 기술 상용화까지 이어진다는 점에서 큰 의미가 있다"고 밝혔다.

한편 이 박사팀의 나노측정 기술은 2010년 '국가연구개발 우수성과 100선'에 선정됐으며 기계연 최우수연구상을 수상한 바 있다. 또 이 박사는 현재 국제전기위원회 MEMS 분야 기술위원, 과제 책임자 등의 활동으로 관련 분야에서 국제표준을 선도하고 있다.