기계연 허신 박사팀 'MEMS 마이크로폰' 기술
청각장애인 듣고싶은 소리를 시각적으로 확인
자동차 경적이나 지하철 도착신호, 전화벨 소리 등 청각장애인이 듣고 싶어 하는 소리를 시각화하는 청각도우미 장치의 핵심인 '초소형 청각소자'가 국내에서 처음으로 개발됐다. 한국기계연구원(원장 최태인) 나노자연모사연구실 허신 박사팀이 미래창조과학부 신기술융합형 성장동력사업의 지원을 받아 청각장애인의 청각보조를 위해 높은 감도와 광대역 주파수 특성을 갖는 'MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 마이크로폰 소자'를 개발했다고 7일 밝혔다. 이번에 개발된 초소형 청각소자는 4인치 실리콘 웨이퍼 기준으로 수백 개의 소자를 대량으로 제조할 수 있는 MEMS 공정기술을 이용해 저가화, 초소형화 및 소자의 특성을 균일하게 구현할 수 있다는 장점이 있다. 연구팀은 실리콘 기판에 마이크로폰 소자 및 CMOS 신호처리소자를 제작해 이 두 소자를 패키징 한 크기의 MEMS 마이크로폰(6mm×7mm)을 제조했다. 개발된 MEMS 마이크로폰은 청각장애인의 청각보조용 장치에 적용해 음원을 가시화할 수 있도록 일반적인 MEMS 마이크로폰 감도(-42.0dB)보다 우수한 감도(–37dB)와 넓은 주파수 대역(100~5,000Hz)을 갖고 있다. 연구팀은 올해 말까지 4mm×4mm로 축소된 크기를 구현함으로써 활용 영역과 기술경쟁력을 더욱 높일 예정이다.
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▲CMOS 신호처리 소자가 통합 패키지된 MEMS 마이크 로폰. 2013 HelloDD.com |
김형석 기자
blade31@hellodd.com
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