나노종합기술원, 기업 템퍼스 지원 '높은 수율 가격 경쟁력' 갖춰

국내 기업이 나노종합기술원과 공동연구로 비접촉 적외선 온도센서, 체온계 기술 자립에 성공했다. 사진은 공정개선 전(왼쪽)과 개선 후(오른쪽).<사진= 나노종합기술원>
국내 기업이 나노종합기술원과 공동연구로 비접촉 적외선 온도센서, 체온계 기술 자립에 성공했다. 사진은 공정개선 전(왼쪽)과 개선 후(오른쪽).<사진= 나노종합기술원>
코로나바이러스 감염증(코로나19) 확산이 수그러들지 않는 가운데 국내 기업이 비접촉 적외선 온도센서, 체온계 기술 자립에 성공해 주목된다.

나노종합기술원(원장 이조원)은 기업 템퍼스(대표 신백규)와 공동 개발로 '비접촉식 체온계용 마이크로 적외선 센서' 양산에 성공했다고 17일 밝혔다.

마이크로 적외선 센서는 서로 다른 두 금속의 접촉 부위의 온도 차이에 의해 열기전력이 발생하는 원리를 이용, 인체감지에 유리한 원적외선(8~14um대)을 검출하게 된다. 양산에 성공한 비접촉식 온도 측정용 적외선 센서는 반도체 호환 공정을 적용해 높은 수율 확보가 가능하다. 또 공정 단순화로 가격 경쟁력을 획기적으로 높였다.

특히 미세기계전자시스템(MEMS) 기반 공정에 반도체 제조공정(CMOS)을 접목해 생산성을 향상, 경쟁사 대비 감도도 3~5배 우수하다. 나노종합기술원은 대량양산기술과 성능향상을 위한 공정개선을 지원했다.

그동안 미국, 독일 등이 마이크로 적외선 센서 시장을 독점해 왔다. 최근 코로나19로 비접촉식 체온계의 수요가 폭발적으로 증가하는 추세다. 이번 국내 개발로 중국 등 아시아, 미국, 유럽 등 해외에서 구매문의가 크게 늘고 있다.

템퍼스는 코로나19 이후 500만개의 온도센서를 국내외 체온계 제작기업에 납품했다. 최근에는 미국 식품의약국(FDA)의 공식 인정을 받아 본격적인 미국 수출을 앞두고 있다.

신백규 대표는 "적외선 영역 1~25㎛ 파장대까지 검출할 수 있는 템퍼스의 적외선 센서 기술력과 반도체 및 센서 공정기술지원이 가능한 나노종기원의 협업을 통해 제품양산과 다양한 어플리케이션의 확대가 가능했다"면서 "국내·외 비접촉 체온계시장을 적극 공략할 계획"이라고 말했다.

고서곤 과기부 기초원천연구정책관은 "시스템반도체 및 센서는 물론, 소재·부품·장비 기술자립과 유망기업 육성을 위해, 나노종기원과 같은 나노인프라 기관과 수요기업간 연계를 지속적으로 강화하고 지원을 확대해 나갈 예정"이라고 강조했다.

한편 템퍼스는 2012년 창업한 기업으로 마이크로 써모파일 화합물 기술과 적외선 멀티밴드 스펙트럽센서 모듈 기술이 주력 분야다.
 

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