한국과학재단은 다이아몬드 기상(氣狀)합성분야의 불모지인 국내에서 세계적으로 경쟁할 수 있는 독창적인 기술을 확보, 국내 다이아몬드 기상합성기술의 기틀을 마련한 백 박사를 제 46회 과학기술자상 수상자로 선정했다고 4일 밝혔다.

재단은 백 박사팀이 웨이퍼 크기의 다이아몬드를 합성할 수 있는 직류전원 플라즈마합성기술을 개발, 양산을 가능케 했으며 다이아몬드가 코팅된 절삭공구분야에서도 독창적인 공정은 물론 양산 코팅할 수 있는 합성기술을 개발하는 성과를 올렸다고 설명했다.

다이아몬드웨이퍼의 합성기술인 직류전원 플라즈마 합성기술은 선진국에서 개발하고 있는 합성법에 비해 합성된 웨이퍼의 크기를 증가시키는 데 큰 장점을 가지고 있으며 경제성 역시 매우 우수한 것으로 평가되고 있다.

현재 연구팀은 미국 등에서 관련 기술에 대해 특허를 획득했으며 기본 기술을 바탕으로 나노다이아몬드, 나노복합박막합성 및 입방정질화붕소박막의 합성연구를 추진하고 있다.

<유상연 기자>