반도체와 LCD 공정 설비 내부에는 쌓이는 침적물을 제거하기 위해 원격세정기를 사용한다. 세정기의 핵심부품인 플라즈마 반응기 내부는 플라즈마 가스에 의한 부식, 마모, 침식 등이 발생한다. 이를 막기 위해 반응기 표면에 양극산화 기술을 이용해 왔으나 코팅층 박리에 의한 파티클 오염 문제가 있었던게 사실이다.

이에 따라 최근에는 플라즈마 전해 양극산화 코팅기술이 플라즈마 반응기에 적용되는 추세다.

도정만 KIST 박사팀이 개발한 플라즈마 전해 양극산화(PEO, Plasma Electrolytic Oxidation) 코팅기술은 자체 개발한 전원공급장치, 전해액, 공정기술과 플라즈마 아크 제어기술을 통해 알루미늄 합금 표면에 경질 코팅층을 생성할 수 있는 원천기술이다.

이는 친환경성 알카리 전해액을 사용하는 친환경 기술로 평가된다. 경량 합금인 알루미늄 표면에 치밀하고 밀착성이 우수한 알루미나(Al2O3) 코팅층을 실시간 생성시켜 내식·내마모·내침식성을 갖게한다.

연구팀이 개발한 기술은 반도체·디스플레이, 항공우주, 수송기기, 군사용 등 첨단산업분야에 널리 적용 가능한 신기술로 평가된다.
 
기술을 이전한 뉴파워프라즈마는 원격세정기(RPG) 전문업체. 이번 기술이전으로 뉴파워프라즈마는 상용화 전략으로 올해 5000억원 규모의 사업화 성과를 창출해 나갈 예정이다.

이병권 원장은 "이번 기술이전을 통해 플라즈마 코팅기술의 상용화를 앞당기고 세계 최고의 경쟁력을 갖고 있는 국내 반도체와 디스플레이 산업의 경쟁력을 더욱 공고히 할 것으로 기대된다"고 말했다.

위순임 대표도 "KIST의 플라즈마 코팅기술을 이전받고 국내 반도체 디스플레이 장비 시장에서 선두주자가 되기 위해 노력하며 글로벌 시장 진출에 앞장서도록 할 것"이라고 강조했다.

한편 이번 연구는 KIST 기관고유사업과 기술 상용화로 중소기업을 지원하는 BP(Bridge Program) 과제로 수행됐다.