초음파 이용 반도체 공정장비 내 부산물 흡착 방지기술 이전

한국세라믹기술원(원장 김민)은 지난 18일 테키스트(대표 김춘호)와 '초음파를 이용한 반도체 공정장비 내 배기관 막힘 방지장치에 대한 관련 특허기술' 이전계약을 체결했다고 밝혔다.

이전되는 기술은 초음파를 이용해 반도체 증착 및 식각장비 내 출력배관 내에 부산물 고형화로 인한 막힘 현상을 최소화하고, 동시에 배관 내부상태를 모니터링할 수 있는 기술이다.

이영진 세라믹기술원 박사는 "이번 기술이 본격적으로 적용될 경우, 기존 히팅 코일을 이용한 배기관 막힘방지에 비해 전력소비량을 10% 이하 수준으로 낮출 수 있다"면서 "배관 교체 및 정비 주기를 2배 이상으로 연장시켜 생산성 및 관리비용을 현재보다 50% 이상 절감할 수 있을 것"이라고 말했다.

테키스트는 이전받는 기술을 적극 활용해 신제품 개발 및 해외시장 개척에 나설 예정이며, 세라믹기술원은 기술이전에 따른 착수금 86백만원과 향후 5년간 관련 매출액에 대해 경상기술료를 받을 예정이다.

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