반도체장비 표준화 5개년 계획은 2015년 반도체장비 국산화율 50% 달성을 목표로 하는 정부 계획을 표준화 측면에서 체계적으로 지원하기 위한 것으로 장비 성능평가, 용어 및 안전 등 35종의 표준을 개발·보급을 목표로 하고 있으며 그중 10종은 국제표준으로 제안 될 예정이다.

특히, 반도체장비는 삼성전자, 하이닉스 등 국내 반도체 업체들의 요구사항이 서로 달라 이에 대한 표준화가 시급한 실정이다. 이번 워크숍에서는 삼성전자와 하이닉스에서 각각 자사의 반도체장비 안전기준 현황을 발표하고, TÜV라인란드코리아에서 해외의 반도체장비 안전규제 동향, 한국산업안전공단에서 반도체장비 안전인증제도(S-Mark) 운영 현황에 대해 발표하고 반도체장비 안전 지침(안)에 대해 한국안전학회 최기흥 교수의 발표와 함께 전문가 의견수렴도 함께 진행된다.

기술표준원 담당자는 "이번 워크숍을 통해 반도체장비 표준화에 대한 공감대를 강화하는 한편 국내 개발 반도체장비의 표준화를 완성시킴으로써 국산 반도체장비의 국제 경쟁력을 높일 것"이라고 밝혔다.