반도체·디스플레이 산업발전에 기여 인정

2008년 첫 '이달의 엔지니어상' 수상자로 윤성로 (주)새한 연구위원과 김형석 주성엔지니어링(주) 과장이 선정됐다. 과학기술부와 한국산업기술진흥협회는 반도체·디스플레이 산업발전에 공헌한 이들의 공로를 인정 수상자로 선정했다고 7일 밝혔다.

대기업 부문 수상자인 윤성로 연구위원은 21년간 산업용 필터개발에 전념해온 전문 엔지니어다. 그는 기존 역삼투 분리막의 막 오염 현상을 개선해 국내 최초로 내오염성 역삼투 분리막을 개발했다. 또한 전량 수입에 의존했던 반도체 및 전기·전자기기용 정밀여과막을 국내 최초로 개발해 연간 약 1000억원의 수입대체효과를 거뒀다.

윤 연구위원은 30여건의 필터분야 관련 특허를 보유하고 있으며, 현재는 건설교통부의 해수담수화 플랜트 사업단의 총괄책임자로 역삼투압법 해수담수화 기술 개발에 참여하고 있다.

중소기업 부문 수상자인 김형석 과장은 세계 최초로 반도체 ZrO2(지르코늄 옥사이드)공정장비 양산화에 성공했다. 김 과장은 60나노 이하의 차세대 반도체 공정 중 ZrO2의 저온증착을 통해 균일한 박막을 형성하는 공정기술의 개발 및 양산화에도 성공했다. ZrO2는 기존의 HfO2(하프늄 옥사이드)에 비해 내식성·전도성이 우수하며 미세회로 공정에서 캐패시터의 품질을 높이는 물질이다. 이 기술이 적용된 반도체 공정장비인 '사이클론 플러스'는 부품수 기준 98% 이상의 높은 국산화율을 기록, 연간 430억원의 수입대체 효과를 나타내고 있다. 그의 기술은 '세계으뜸기술상'을 수상했고, 대한민국 10대 신기술로도 선정됐다.

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