나노단위의 미세한 이동을 필요로하는 반도체 장비나 정밀계측장비, 의료기기 등에 폭넓게 사용할 수 있는 '나노선형모터'가 대덕밸리 벤처기업에 의해 개발됐다.

대덕밸리 나노분말 및 나노디바이스 개발 전문업체인 나노닉스(대표 최관영 www.nanonix.com)는 인하대 기계과 김재환 교수와 함께 4nm 정밀도를 갖는 무빙셀(Moving cell) 압전적층(piezo―stack) 구동방식의 나노선형모터 시제품을 개발했다고 5일 밝혔다.

이번에 개발된 모터는 전기신호가 압력으로 바뀌는 압전 셀(cell) 3개를 나란히 연결해 배열하고 압전적층 엑츄에이터에 전기를 흘려 주면 엑츄에이터가 가로 방향으로 늘어난다. 동시에 이를 감싸고 있는 타원형의 셀이 강한 구동력을 따라 이동하면서 미세 움직임을 만든다.

이 모터는 성능을 나타내는 축방향 구동력과 속도, 정밀도의 경우 대표적인 나노구동모터기업인 미국의 보레이(Burleigh)사의 IW-700에 비해 뛰어난 것이 특징이다. 이에따라 반도체 장비나 DNA칩 조작, 광파이버 배열, 표면분석장치, 미세전자기계(MEMS) 포지셔닝 분야에도 응용할 수 있을 것으로 회사측은 기대하고 있다.

최사장은 "초정밀, 초고속 장비를 개발하기 위해서는 나노미터급 초정밀 위치제어기술이 필요한데 이 모터는 정밀도와 이동속도,구동력면에서 우수하다"며 "현재 정밀도를 1nm로 높이기 위한 후속연구를 추진중"이라고 말했다.

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